陶瓷制造技術

精密陶瓷主要為高熔點的氧化物、碳化物、氮化物等燒結材料。其原材料是經過一系列人工合成或提煉處理過的化工原料。采用超精微細粉體(亞微米及納米微粉)經超高溫高壓燒結后制成。具備優異的耐高溫、耐磨、耐腐蝕、絕緣等特性,在許多重要領域得到了越來越廣泛的應用。

    精密陶瓷主要為高熔點的氧化物、碳化物、氮化物等燒結材料。其原材料是經過一系列人工合成或提煉處理過的化工原料。采用超精微細粉體(亞微米及納米微粉)經超高溫高壓燒結后制成。具備優異的耐高溫、耐磨、耐腐蝕、絕緣等特性,在許多重要領域得到了越來越廣泛的應用。  

 

三氧化二鋁陶瓷

    氧化鋁為主要成分,有較好的絕緣性和耐磨性能,價格便宜。作為精密陶瓷材料的代表,使用較為廣泛。高純度的氧化鋁(純度99%上)適用于制作半導體制造設備部品。

主要用途

      半導體制造裝置腔體內部品;搬送部品;液晶制造裝置用品;真空裝置用品;一般產業機械用部品等;

氧化鋯陶瓷

      氧化鋯為主要成分,有其他材料無法達到的強度和破壞韌性。適用于高腐蝕,高強度的環境。

主要用途

       半導體搬送用軌道;軸承部品;工業用刀具等;

氮化鋁陶瓷

       具有很好的熱傳導性、絕緣性、防熱、耐熱沖擊性。可被用作防熱耐熱材料。

主要用途

       半導體制造裝置用部品;防熱性基材等。

碳化硅陶瓷

       碳化硅是硬度僅次于金剛石的材料比其他陶瓷材料有更好的耐熱性、耐磨損性,在特別高溫度的情況下(1700℃)其強度不會降低,屬于高溫構造材料。在許多重要領域具有廣泛應用。

主要用途

       半導體制造裝置用品;燃燒器噴嘴等;

 氮化硅陶瓷

       與氧化鋁相比,其高溫強度,耐熱沖擊性更佳,作為耐熱符合構造材料廣泛應用。

主要用途

       半導體制造裝置用部品;燃燒噴嘴;熔接治具等;

 

 

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